特許

J-GLOBAL ID：200903064116928918

複合圧電材の製造方法

発明者： 久田 祥之 ,  勅使河原 明彦
出願人/特許権者： 株式会社デンソー
代理人 (1件)： 佐藤 強
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-229901
公開番号（公開出願番号）：特開平9-084193
出願日： 1995年09月07日
公開日（公表日）： 1997年03月28日
要約：

【要約】【課題】 アレイ電極どうしを導通させることなく、また複合圧電材を変形させたり変質させたりすることなく、複合圧電材に電極を形成する。【解決手段】 平板状圧電セラミックスに溝29を形成して多数の圧電素子22に区画する。その後、圧電素子22の表面に半田層33を付着させ、アレイ電極25を形成した電極基板34を圧電素子22の先端面に半田付けする。次いで、溝29内に熱硬化性樹脂23を充填して加熱硬化させ、その後、平板状圧電セラミックスの裏面を研削して連結部30を除去し、裏面に共通電極24を蒸着する。

請求項（抜粋）：

平板状圧電材に一方の面から他方の面に向かって延びる溝を形成することにより、この溝の底部に残された前記他方の面側の連結部によって相互に繋がる複数の圧電素子に区画する工程と、複数の電極を有する電極基板を前記圧電素子の前記一方の面に固着して前記電極を前記圧電素子に接続する工程と、前記溝に高分子材料を充填して前記複数の圧電素子を相互に固着する工程と、前記連結部を除去する工程と、前記複数個の圧電素子の前記他方の面に共通電極を形成する工程と、を順に実行してなる複合圧電材の製造方法。

IPC (4件)：

H04R 17/00 332 ,  A61B 8/00 ,  H01L 41/09 ,  H01L 41/22

FI (4件)：

H04R 17/00 332 B ,  A61B 8/00 ,  H01L 41/08 C ,  H01L 41/22 Z