特許
J-GLOBAL ID:200903064117551311

電極間距離の変化を利用して物理量を検出する装置およびその動作試験方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 志村 浩
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2001-393142
公開番号(公開出願番号):特開2002-221463
出願日: 1991年03月30日
公開日(公表日): 2002年08月09日
要約:
【要約】【課題】 簡便な方法で動作試験を行う。【解決手段】 外力の作用により変位しうるように支持された変位電極と、この変位電極に対向する位置において装置筐体に固定された固定電極と、によって容量素子C0を形成する。外力の作用により変位電極が変位すると、容量素子C0の容量値の変化として、外力が検出される。動作試験時には、電圧発生回路60により、容量素子C0の両電極間に所定の電圧を印加し、この印加電圧に基づいて発生するクーロン力により変位電極を変位させる。この状態において、容量素子C0の一方の電極に発振回路56から交流信号を与え、他方の電極に伝達される交流信号を整流回路57で整流して、端子Tout に出力電圧Vを得る。印加電圧と出力電圧Vとを比較して動作試験を行う。
請求項(抜粋):
外力の作用により変位しうるように支持された変位電極と、この変位電極に対向する位置において装置筐体に固定された固定電極と、これら両電極の間の距離の変化を電気信号として取り出す検出手段と、を備え、前記外力に対応した物理量を電気信号として検出する検出装置の動作試験方法であって、前記両電極の間に所定の電圧を印加し、この印加電圧に基づいて発生するクーロン力により前記変位電極を変位させた状態において、前記両電極の一方の電極に所定の大きさをもった時間的変動成分を有する電気信号を与え、このときに他方の電極に伝達される前記変動成分の大きさを、前記印加電圧と比較することにより、この検出装置の動作を試験することを特徴とする電極間距離の変化を利用して物理量を検出する装置の動作試験方法。
IPC (7件):
G01L 25/00 ,  G01L 1/14 ,  G01L 5/16 ,  G01P 15/125 ,  G01P 15/18 ,  G01P 21/00 ,  G01R 27/26
FI (7件):
G01L 25/00 A ,  G01L 1/14 A ,  G01L 5/16 ,  G01P 15/125 ,  G01P 21/00 ,  G01R 27/26 C ,  G01P 15/00 K
Fターム (8件):
2F051AB06 ,  2F051AC07 ,  2F051DA03 ,  2G028BB06 ,  2G028CG07 ,  2G028DH03 ,  2G028DH04 ,  2G028MS02

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