特許
J-GLOBAL ID：200903064120659042

基板の研磨方法及びその装置

発明者：
渡邉 逸郎

渡邉 逸郎 について

, 
久保 岳

久保 岳 について


出願人/特許権者：
旭硝子株式会社

旭硝子株式会社 について


代理人 (1件)： 松浦 憲三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-201353
公開番号（公開出願番号）：特開2004-122351
出願日： 2003年07月24日
公開日（公表日）： 2004年04月22日
要約：
【課題】研磨終了後の大型ガラス基板の搬出に長時間を必要とせず、生産性を向上させることのできるガラス基板の研磨方法及びその装置を提供する。【解決手段】第1の研磨ステージ18において、キャリア52の着脱自在な膜枠14にガラス基板Gを貼着してガラス基板Gを研磨する。研磨終了後、第2の研磨ステージ20から離れたステージ22にて、研磨終了したガラス基板Gを膜枠14から取り外す。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
基板を貼着可能な膜体が張設された膜枠に基板を貼着し、該膜枠をキャリアに取り付ける工程、又は基板を貼着可能な膜体が張設された膜枠をキャリアに取り付け、該膜枠に基板を貼着する工程と、 該膜枠が取り付けられたキャリアと研磨定盤とを相対的に近づけて、前記膜体に貼着された基板の研磨面を前記研磨定盤に押し付けて研磨する工程と、 基板の研磨完了後、前記キャリアから前記膜枠を取り外し、該膜枠から前記基板を取り外す工程、又は基板の研磨完了後、前記膜枠から前記基板を取り外し、前記キャリアから前記膜枠を取り外す工程と、 を有することを特徴とする基板の研磨方法。
IPC (1件)：
B24B37/04
FI (1件)：
B24B37/04 Z
Fターム (8件)：
2H090JB02 ,  2H090JC01 ,  2H090JD14 ,  3C058AA07 ,  3C058AB03 ,  3C058CA01 ,  3C058CA06 ,  3C058CB03
引用特許：
審査官引用 (8件)
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