特許

J-GLOBAL ID：200903064125166605

単結晶引上げ装置

発明者： 大久保 一也 ,  金井 裕一 ,  岩田 康幸 ,  遠藤 哲哉 ,  大津 朗 ,  小川 純
出願人/特許権者： 東芝セラミックス株式会社
代理人 (1件)： 波多野 久 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-326866
公開番号（公開出願番号）：特開2001-146497
出願日： 1999年11月17日
公開日（公表日）： 2001年05月29日
要約：

【要約】【課題】落下する単結晶に対する安全装置の誤動作がなく、生産性よく単結晶引上げることができる単結晶引上げ装置を提供する。【解決手段】炉体2内に設けられた石英ガラスルツボ3を加熱してこの石英ガラスルツボ3に装填された半導体原料Mを溶融し、単結晶Sを引上げる単結晶引上げ装置1において、引上げた単結晶Sの落下による動きを検知する落下検知手段6と、落下検知手段6からの落下検知出力により作動し、落下する単結晶Sを捕捉または破砕する安全手段7とを有する単結晶引上げ装置。

請求項（抜粋）：

炉体内に設けられた石英ガラスルツボを加熱してこの石英ガラスルツボに装填された半導体原料を溶融し、単結晶を引上げる単結晶引上げ装置において、引上げた単結晶の落下による動きを検知する落下検知手段と、この落下検知手段からの落下検知出力により作動し、落下する単結晶を捕捉または破砕する安全手段とを有することを特徴とする単結晶引上げ装置。

IPC (3件)：

C30B 15/26 ,  C30B 29/06 502 ,  H01L 21/208

FI (3件)：

C30B 15/26 ,  C30B 29/06 502 Z ,  H01L 21/208 P

Fターム (16件)：

4G077AA02 ,  4G077BA04 ,  4G077CF10 ,  4G077EG27 ,  4G077EH06 ,  4G077PF04 ,  4G077PF15 ,  5F053AA12 ,  5F053AA13 ,  5F053BB04 ,  5F053BB08 ,  5F053BB13 ,  5F053DD01 ,  5F053FF04 ,  5F053GG01 ,  5F053RR20