特許
J-GLOBAL ID：200903064127221190
光式力センサ
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鵜沼 辰之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-200392
公開番号（公開出願番号）：特開平8-062074
出願日： 1994年08月25日
公開日（公表日）： 1996年03月08日
要約：
【要約】【目的】 特別な防爆構造なしにしかも高電圧,高電流が存在する悪環境下でも使用可能であり、製作容易で信頼性の高い光式力センサを提供する。【構成】 センシングプローブ6内の導波路10の一部のクラッド層9を薄くして、その部分に、例えば円柱スペーサ11を介在させ、センシング部材12を設置する。センシングプローブ6と光源1と信号処理回路14,15との間は、光ファイバ3,5,13で結合する。【効果】 力検出と信号伝達に光を用いるので、特別な防爆構造が不要であり、高電圧,高電流が存在する悪環境下でも、その影響を受けない。また、センシングプローブ6は、センシング部材12を例えば円柱スペーサ11を介して導波路10上に設置するだけで製作でき、製作が容易であり、信頼性も高い。
請求項（抜粋）：
光源と、信号処理部と、基板上に形成された導波路を含むセンシングプローブと、前記光源およびセンシングプローブを結合する第1光ファイバと、前記センシングプローブおよび信号処理部を結合する第2光ファイバとからなる光式力センサにおいて、前記センシングプローブが、前記導波路の一部である感圧部と、前記感圧部の上部に設置されたセンシング部材と、前記センシング部材および前記感圧部の間に介在し前記センシング部材にかかる力に応じて変形し前記感圧部との接触面積が変化するスペーサとを有することを特徴とする光式力センサ。
IPC (3件)：
G01L 9/00
, G01L 1/00
, G02B 6/00
