特許

J-GLOBAL ID：200903064127354042

被検対象物の材料界面を決定するための方法及び装置

発明者： レッテンバウアー・フーベルト ,  ロッツェ・アンドレアス ,  クンツマン・シュテファン
出願人/特許権者： カール ツァイス インドゥストリエレ メステヒニク ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング
代理人 (3件)： 江崎 光史 ,  奥村 義道 ,  鍛冶澤 實
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-511612
公開番号（公開出願番号）：特表2008-541110
出願日： 2006年05月11日
公開日（公表日）： 2008年11月20日
要約：

本発明は、被検対象物(1)の材料界面を決定するための方法及び装置に関し、透過放射線を用いて、画像データの画像値を取得することによって被検対象物(1)の三次元画像データを生成するか、或いは取得して置いた画像データの画像値によって被検対象物(1)の三次元画像データを取得し、被検対象物(1)に対して相対的に、画像データを評価するための評価線(17)を決定し、評価線(17)の方向における画像値の第1の部分導関数の絶対値が材料界面の位置に極大値を有するように、この評価線に沿って存在する画像値を評価することによって、被検対象物(1)の材料界面の位置を決定するものである。

請求項（抜粋）：

被検対象物(1)の材料界面を決定するための方法であって、 ・透過放射線を用いて、画像データの画像値を取得することによって被検対象物(1)の三次元画像データを生成するか、或いは取得して置いた画像データの画像値によって被検対象物(1)の三次元画像データを取得し、 ・被検対象物(1)に対して相対的に、画像データを評価するための評価線(17)を決定し、 ・評価線(17)の方向における画像値の第1の部分導関数の絶対値が材料界面の位置に極大値を有するように、この評価線に沿って存在する画像値を評価することによって、被検対象物(1)の材料界面の位置を決定する方法。

IPC (2件)：

G01B 15/00 ,  G06T 1/00

FI (2件)：

G01B15/00 H ,  G06T1/00 315

Fターム (31件)：

2F067AA04 ,  2F067HH04 ,  2F067JJ03 ,  2F067KK06 ,  2F067RR07 ,  2F067RR12 ,  2F067RR20 ,  2F067RR21 ,  2F067RR27 ,  2F067RR29 ,  2F067RR32 ,  2G001AA01 ,  2G001BA11 ,  2G001CA01 ,  2G001FA01 ,  2G001FA06 ,  2G001FA08 ,  2G001GA05 ,  2G001GA08 ,  2G001HA10 ,  2G001JA16 ,  2G001KA05 ,  2G001LA20 ,  5B057AA01 ,  5B057BA03 ,  5B057DA07 ,  5B057DB03 ,  5B057DB05 ,  5B057DB09 ,  5B057DC05 ,  5B057DC22

引用特許：

出願人引用 (4件)

• ドイツ国特許出願公開第10245116号明細書
  
• ドイツ国特許出願公開第10248770号明細書
  
• 米国特許出願公開第2001/0055016号明細書
  
• 米国特許第6,125,164号明細書