特許

J-GLOBAL ID：200903064128267810

高粘性合成石英ガラスおよびその製造方法

発明者： 生野 浩人 ,  小鷹 啓章 ,  石井 友之 ,  露木 龍也 ,  石川 安雄 ,  神保 潤一 ,  斉藤 正人
出願人/特許権者： 東芝セラミックス株式会社
代理人 (1件)： 波多野 久 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-340082
公開番号（公開出願番号）：特開2000-169155
出願日： 1998年11月30日
公開日（公表日）： 2000年06月20日
要約：

【要約】【課題】優れた耐熱性および透明性を有する高粘性合成石英ガラスを得て、また、製造時間の短縮化を図り、均一な合成石英ガラスを得る高粘性合成石英ガラスの製造方法を提供する。【解決手段】珪素塩化物を酸水素火炎中に導入して加水分解により多孔質シリカ体を得る多孔体製造工程と、得られた多孔質シリカ体をアンモニア含有雰囲気中で加熱処理する窒化処理工程と、得られた窒素含有多孔質シリカ体を水素含有雰囲気中で加熱処理する透明化処理工程とを有することを特徴とする。

請求項（抜粋）：

珪素化合物を酸水素火炎中に導入して加水分解によりかさ密度1.0g/cm3以下の多孔質シリカ体を得る多孔体製造工程と、得られた前記多孔質シリカ体をアンモニア含有雰囲気中で加熱処理する窒化処理工程と、得られた窒素含有多孔質シリカ体を水素含有雰囲気中で加熱処理する透明化処理工程とを有することを特徴とする高粘性合成石英ガラスの製造方法。

IPC (3件)：

C03B 8/04 ,  C03B 20/00 ,  C03C 3/06

FI (4件)：

C03B 8/04 D ,  C03B 8/04 P ,  C03B 20/00 F ,  C03C 3/06

Fターム (5件)：

4G014AH15 ,  4G062AA01 ,  4G062BB02 ,  4G062CC07 ,  4G062NN24