特許
J-GLOBAL ID:200903064142375579

多孔質母材の製造方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 絹谷 信雄
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-038857
公開番号(公開出願番号):特開2000-239038
出願日: 1999年02月17日
公開日(公表日): 2000年09月05日
要約:
【要約】【課題】 チャンバーの小型コンパクト化と共に高品質で長尺の多孔質母材を容易に得ることができる新規な多孔質母材の製造方法の提供。【解決手段】 チャンバー1内を水平に貫通する石英ガラスロッド2上に、ガラス微粒子を堆積させて多孔質のSiO2 層6を形成するようにした多孔質母材の製造方法において、上記石英ガラスロッド2が貫通するチャンバー1の各貫通口5,5の口径を完成後の多孔質母材の外径以上に拡径させ、上記石英ガラスロッド2をその長さ方向に往復移動させながらSiO2 層6を形成する。これによってチャンバー1の大きさに拘わらず任意の長さの多孔質母材を容易に製造できる。
請求項(抜粋):
チャンバー内を水平に貫通する石英ガラスロッド上に、ガラス微粒子を堆積させて多孔質のSiO2 層を形成するようにした多孔質母材の製造方法において、上記石英ガラスロッドが貫通するチャンバーの各貫通口の口径を完成後の多孔質母材の外径以上に拡径させ、上記石英ガラスロッドをその長さ方向に往復移動させながらSiO2 層を形成するようにしたことを特徴とする多孔質母材の製造方法。
IPC (2件):
C03B 37/018 ,  G02B 6/00 356
FI (2件):
C03B 37/018 C ,  G02B 6/00 356 A
Fターム (2件):
4G021EA01 ,  4G021EB22

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