光ファイバー用ガイド溝の形成方法及び光ファイバー用ガイド基板

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-177636
公開番号（公開出願番号）：特開平8-019878
出願日： 1994年07月05日
公開日（公表日）： 1996年01月23日
要約：

【要約】【目的】溝形状を光ファイバー外形に合わせて形成でき、光ファイバー中心位置の位置ずれを最小限にとどめることを可能にする。【構成】溝の形成加工時に、X-Y-Zテーブル6とレーザ発振器1のレーザ発振を同期させ、パルス毎にX-Y-Zテーブル6を移動させ、台形やアールに近い溝底部形状を形成する。これによって光ファイバーの形状にフィットした溝形状を得る。

請求項（抜粋）：

ポリイミド、PET、PC等エキシマレーザ光に吸収を持つ板状あるいはフィルム状の樹脂材に、スリット状レーザービームを照射して光ファイバー用ガイド溝を形成させる方法において、被加工物となる樹脂材を設置するX-Y-Zテーブルの作動と照射レーザ光を同期させ、光ファイバーの外形に合致したガイド溝を形成することを特徴とする光ファイバー用ガイド溝の形成方法。

IPC (5件)：

B23K 26/00 , B23K 26/06 , B23K 26/14 , G02B 6/00 346 , G02B 6/40

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