特許

J-GLOBAL ID：200903064158343294

ダイヤモンドフイルム電子源を用いた電子素子

発明者： ロバート・シー・カーン
出願人/特許権者： モトローラ・インコーポレイテッド
代理人 (1件)： 本城 雅則 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-122194
公開番号（公開出願番号）：特開平6-036680
出願日： 1993年04月27日
公開日（公表日）： 1994年02月10日
要約：

【要約】【目的】 0.05ミクロン代の小さな構造サイズを必要とせず、5x105V/cm程導電界のみを用いて、大量の電子を放出させることができる、電子放出電子素子を提供する。【構成】 ダイヤモンド材料電子放出部(101)とアノード(102)とが双方とも支持基板(103)上に配置されており、それらの間に相互電極領域(130)を規定するようにした、電子素子。相互電極領域(130)を横切る電子の搬送は、ダイヤモンド材料電子放出部(101)の放出面(120)において、開始される。代替実施例では、実質的に対称的で、電子放出部(301)について軸方向にずれており、かつ相互電極領域(330)内にあるゲート電極(340)を用いて、変調能力を設けている。

請求項（抜粋）：

主面を有する支持基板(103);前記支持基板の主面の一部上に配置され、電子を放出するための放出面(120)を有する、ダイヤモンド材料電子放出部(101);および放出された電子の少なくとも幾つかを収集するために、前記ダイヤモンド材料電子放出部の放出面に対して隔てて前記主面の一部上に配置され、かつ相互電極領域(130)をその間に規定する、アノード(102);から成ることを特徴とする電子素子。

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特開平3-040332
  
• 特開昭64-033833