走査型X線顕微鏡

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：渡辺三彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-133608
公開番号（公開出願番号）：特開2002-328102
出願日： 2001年04月27日
公開日（公表日）： 2002年11月15日
要約：

【要約】【課題】走査型X線顕微鏡のスキャンスピードを向上させることにより、測定時間を短縮できる手段を提供する。【解決手段】本走査型X線顕微鏡100は、X線発生器101と、X線発生器101から発生したX線10を試料S上に集光するX線集光素子102と、X線発生器101とX線集光素子102とを一体的に揺動させる揺動機構103と、試料Sを載置するための試料ステージ104と、試料ステージ104をスライド移動させるスライド機構105と、試料SからのX線10A、10Bを検出するX線計測装置106、107と、揺動機構103及びスライド機構105の動作を制御するとともにX線計測装置106、107の計測値に基づいて画像処理を行うX線計測信号画像化装置108とを具備してなるものである。

請求項（抜粋）：

X線源と、X線源から発生したX線を試料上に集光するX線集光素子と、試料が載置される試料ステージと、試料からのX線を検出するX線検出器と、検出されたX線を画像化する制御演算部とを具備してなる走査型X線顕微鏡において、前記X線源及びX線集光素子を一体的に揺動させる揺動機構と、前記試料ステージを、該揺動機構の揺動方向と直交する方向にスライド移動させるスライド機構とを有するものであることを特徴とする走査型X線顕微鏡。

IPC (5件)：

G01N 23/04 , G01N 23/223 , G21K 1/02 , G21K 1/06 , G21K 7/00

FI (5件)：

G01N 23/04 , G01N 23/223 , G21K 1/02 C , G21K 1/06 K , G21K 7/00

Fターム (8件)：

2G001AA01 , 2G001BA04 , 2G001BA11 , 2G001CA01 , 2G001GA06 , 2G001HA13 , 2G001JA02 , 2G001QA01

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