特許
J-GLOBAL ID：200903064164272609
モニタリング装置及びその表示方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
阪本 清孝 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-223604
公開番号（公開出願番号）：特開平6-050769
出願日： 1992年07月31日
公開日（公表日）： 1994年02月25日
要約：
【要約】【目的】 温度、ガス流量、圧力等のデータを、自由なサンプリング周期でサンプリングし、またグラフで表示することにより瞬間的な数値だけでなく、データの経時的変化を認識することのできるモニタリング装置及びその表示方法を提供する。【構成】 サンプリング周期(サンプリングタイム)とグラフ表示用の線種、線色、データ表示範囲を設定するサンプリングスケジュール設定手段5と、サンプリングタイムのカウントを行うタイマー部とシステム時刻を出力する時計部から成るタイマー4と、サンプリングしたデータを表示用データに変換するデータ変換手段2と、表示用データとグラフ表示用各種パラメータとサンプリング時刻を取り入れてグラフ化して表示部8に表示させる表示制御部7を有するモニタリング装置及びその表示方法である。
請求項（抜粋）：
データを収集するデータ収集手段と、前記データの収集周期及びグラフ表示用のパラメータを設定する設定手段と、前記設定されたパラメータを記憶するパラメータテーブルと、システム時刻を出力する時計部と、前記データの収集周期をカウントするタイマー部と、前記データ収集手段で収集されたデータが格納される第1のテーブルと、前記データの収集周期のカウント終了時のシステム時刻と共に前記データの収集周期に従って前記第1のテーブルからデータが取り出されて格納される第2のテーブルと、前記データ収集手段で収集されたデータを前記第1のテーブルに格納し、前記第1のテーブルから前記第2のテーブルへ前記データを取り出して前記システム時刻と共に格納する変換手段と、前記第2のテーブル内のデータを前記システム時刻と前記パラメータに基づいてグラフ化する表示制御部と、前記グラフの表示を行う表示手段とを有することを特徴とするモニタリング装置。
IPC (4件)：
G01D 3/02
, G01L 23/00
, H01L 21/66
, H01L 21/22
