特許
J-GLOBAL ID：200903064171158617
固定抵抗器の製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-159256
公開番号（公開出願番号）：特開平7-074007
出願日： 1993年06月29日
公開日（公表日）： 1995年03月17日
要約：
【要約】【目的】 絶縁膜の形成が容易で、且つ分割における絶縁膜のクラックの発生を抑えることができる固定抵抗器の製造方法を提供する。【構成】 本発明は、縦横の分割溝21、22によって区分された複数の素子領域を有する大型絶縁基板20を形成する工程と、前記大型基板20の各素子領域の表面に抵抗体膜4を接続するための電極膜31a、31bを形成する工程と、前記電極膜31a、31bに接続する抵抗体膜4を形成する工程と、前記抵抗体膜4上に各素子領域の抵抗体膜4に連なるように絶縁膜5を被覆形成する工程と、前記分割溝22に対応する絶縁膜5部分に、分断溝53を形成する工程と、前記分断溝53及び分割溝22に沿って各素子領域に分割する工程とを含む固定抵抗器の製造方法である。
請求項（抜粋）：
縦横の分割溝によって区分された複数の素子領域を有する大型絶縁基板を形成する工程と、前記大型絶縁基板の各素子領域の表面に一対の電極膜を形成する工程と、前記各素子領域の一対の電極膜間に抵抗体膜を、その両端が一対の電極膜に電気的に接続するようにして形成する工程と、前記各素子領域に形成された抵抗体膜上に、各素子領域の抵抗体膜を共に被覆するように絶縁膜を形成する工程と、前記絶縁膜の大型絶縁基板に形成した分割溝に対応する部分に、分断溝を形成する工程と、前記大型絶縁基板及び絶縁膜を前記分割溝及び分断溝に沿って切断し、絶縁基板の上面に一対の電極膜と抵抗体膜を有する複数個の固定抵抗器に分割する工程、とから成る固定抵抗器の製造方法。
IPC (3件)：
H01C 17/06
, H01C 7/00
, H01C 17/242
