特許

J-GLOBAL ID：200903064172152566

半導体集積回路装置

発明者： 浦山 丈裕
出願人/特許権者： 富士通株式会社
代理人 (1件)： 柏谷 昭司 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-008999
公開番号（公開出願番号）：特開平7-221270
出願日： 1994年01月31日
公開日（公表日）： 1995年08月18日
要約：

【要約】【目的】 半導体集積回路装置に関し、MOSトランジスタのソース領域とドレイン領域の対称性を正確に評価することができるMOSトランジスタモニターを有する半導体集積回路装置を提供する。【構成】 集積回路中に、ソース領域11からその接続パッド17までの配線14とドレイン領域12からその接続パッド18までの配線15の少なくとも一方に迂回部分が設けられ、その結果、ソース領域からその接続パッドまでの配線14とドレイン領域からその接続パッドまでの配線15の長さが実質的に等しく、ソース領域からその接続パッドまでの配線14とドレイン領域からその接続パッドまでの配線15の電気抵抗が実質的に等しいMOSトランジスタモニターを形成する。これに代えて、ソース領域からその接続パッドまでの配線とドレイン領域からその接続パッドまでの配線の幅を変えることもでき、長さと幅を同時に変えることもできる。

請求項（抜粋）：

ソース領域からその接続パッドまでの配線とドレイン領域からその接続パッドまでの配線の長さが異なり、かつ、該ソース領域からその接続パッドまでの配線と該ドレイン領域からその接続パッドまでの配線の幅が少なくとも部分的に異なり、その結果、該ソース領域からその接続パッドまでの配線と該ドレイン領域からその接続パッドまでの配線の電気抵抗が実質的に等しくなっているMOSトランジスタモニターを具備することを特徴とする半導体集積回路装置。

IPC (5件)：

H01L 27/04 ,  H01L 21/822 ,  G01R 31/28 ,  H01L 21/66 ,  H01L 29/78

FI (4件)：

H01L 27/04 T ,  G01R 31/28 F ,  G01R 31/28 V ,  H01L 29/78 301 T