特許
J-GLOBAL ID：200903064175905280
ガス混合物中のガス成分を測定するためのプレーナ型電気化学式センサおよびその製造方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
矢野 敏雄 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-302337
公開番号（公開出願番号）：特開平7-209246
出願日： 1994年12月06日
公開日（公表日）： 1995年08月11日
要約：
【要約】【目的】 ガス混合物中のガス成分を測定するためのプレーナ型電気化学式センサを提供する。【構成】 該センサは、1つ以上のセラミックシート(11,15,16,19)を一緒に積層したセンサ本体(10)からなり、センサ本体(10)中に設けられた測定ガスチャンバ(14)を有し、該チャンバは拡散孔(21)を介して測定ガスと連結している。拡散孔(21)は深さが測定ガスチャンバ(14)を越えて隣接するセラミックシート(16)中にまで達している。拡散孔(21)の深さはレーザパルス出力によるかまたは拡散孔(21)の深さを限る反射層によって決定することができる。【効果】 本発明によるセンサは高い機能確実性を有する。
請求項（抜粋）：
層系から構成されたセンサ本体およびセンサ本体中に設けられた測定ガスチャンバを有し、該ガスチャンバに拡散孔が通じている、ガス混合物中のガス成分を測定するためのプレーナ型電気化学式センサにおいて、拡散孔(21)は深さがガスチャンバ(14)を越えて少なくとも隣接層(16,36,55)中へ達することを特徴とするガス混合物中のガス成分を測定するためのプレーナ型電気化学式センサ。
IPC (2件)：
FI (4件)：
G01N 27/46 325 L
, G01N 27/46 325 E
, G01N 27/46 327 J
, G01N 27/46 327 A
