特許
J-GLOBAL ID:200903064191229782

干渉顕微鏡

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 篠原 泰司
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平6-066050
公開番号(公開出願番号):特開平7-281099
出願日: 1994年04月04日
公開日(公表日): 1995年10月27日
要約:
【要約】【目的】 ポラライザ、ノマルスキプリズム、アナライザ等を必要とせず、回折格子を備えることにより、レーザ走査顕微鏡、一般の顕微鏡を問わず用いられるシェアリング量可変の微分干渉顕微鏡を提供する。【構成】 照明光源と、照明光の波面を等位相の二波面に分割する波面分割手段1aと、二波面に分割された照明光を透明標本4に照射するコンデンサレンズ2と、照明された透明標本4の像を形成する対物レンズ5,結像レンズ7と、分割されている二波面を再合成し干渉させる波面合成手段1bと、干渉像観察手段などを備え、波面分割手段と波面合成手段とが回折格子である。
請求項(抜粋):
照明光源と、前記照明光源からの波面を等位相の二波面に二分割する波面分割手段と、等位相の前記二波面を標本に照射して照明するコンデンサレンズと、照明を受けた前記標本の像を形成する対物レンズ及び結像レンズと、前記二波面を再合成し干渉させる波面合成手段と、前記波面合成手段で得られる干渉像を観察する観察手段とを有する干渉顕微鏡において、前記波面分割手段と前記波面合成手段にそれぞれ回折格子を用いたことを特徴とする干渉顕微鏡。
引用特許:
審査官引用 (1件)
  • 特開昭56-036621

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