特許

J-GLOBAL ID：200903064192990959

真空装置の覗き窓の製法

発明者： 岡部 信一
出願人/特許権者： 住友金属鉱山株式会社
代理人 (1件)： 鴨田 朝雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-184143
公開番号（公開出願番号）：特開平8-027566
出願日： 1994年07月14日
公開日（公表日）： 1996年01月30日
要約：

【要約】【目的】 真空装置の覗き窓の透明度を維持し、覗き窓の表面を機械的特性及び耐食性に優れたものとする。【構成】 覗き窓として使用されるガラス基材を純水洗浄で前処理し、溶解によるアルミナを蒸発材料として用い、前記ガラス基材の表面に、350〜600°Cで、1×10-4Torr以下の雰囲気で第1層のアルミナ膜をイオンプ-ティング法で被覆し、酸素ガスを導入し、250〜350°Cで1×10-4Torr〜1×10-3Torrの雰囲気で第2層のアルミナ膜を第1層のアルミナ膜上にイオンプレ-ティング法で被覆し、全膜厚が10μm以下で、その30%〜70%を第1層のアルミナ膜とする。

請求項（抜粋）：

覗き窓として使用されるガラス基材を純水洗浄で前処理し、アルミナを蒸発材料として用い、前記ガラス基材の表面に、350〜600°Cの温度および1×10-4Torr以下の圧力の雰囲気で第1層のアルミナ膜をイオンプレーティング法で被覆し、酸素ガスを導入し、250〜350°Cの温度および1×10-4Torr〜1×10-3Torrの圧力の雰囲気で第2層のアルミナ膜を第1層のアルミナ膜上にイオンプレーティング法で被覆することにより、全膜厚が10μm以下で、その30%〜70%を第1層のアルミナ膜とすることを特徴とする真空装置の覗き窓の製法。

IPC (6件)：

C23C 14/24 ,  B01J 3/00 ,  C03C 17/245 ,  C03C 17/34 ,  C23C 14/08 ,  C23C 14/32