特許

J-GLOBAL ID：200903064198037846

標準粒子自動塗布機

発明者： 梶田 知穂
出願人/特許権者： ソニー株式会社
代理人 (1件)： 高橋 光男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-155358
公開番号（公開出願番号）：特開平7-335515
出願日： 1994年06月14日
公開日（公表日）： 1995年12月22日
要約：

【要約】【目的】 標準粒子懸濁液を希釈する際の汚染を防ぎ、高品質の標準汚染ウェーハを作製する。【構成】 標準粒子自動塗布機1は、エアロゾル発生器2と粒子付着槽3を備え、エアロゾル発生器には、圧縮空気が流動する空気供給管6と純水用配管8が設けられる。配管8の途中においてPSL粒子懸濁液Kが純水Pに注入され、ここで希釈され、更にオリフィス13を介して液中濃度が均一化されて、エアロゾル発生部5に供給される。空気供給管6を流れてきた圧縮空気により、希釈液Sはエアロゾル化し、乾燥されて清浄なPSL粒子pとなって粒子付着槽3に送られ、ウェーハWに付着する。

請求項（抜粋）：

標準粒子希釈液に空気供給して標準粒子をエアロゾル化するエアロゾル発生器と、その内部に対象物を配置可能な粒子付着槽とからなり、エアロゾル化した標準粒子を前記対象物の表面に付着させる標準粒子自動塗布機において、前記標準粒子希釈液を、純水および標準粒子懸濁液により前記エアロゾル発生器内で生成するようにしたことを特徴とする標準粒子自動塗布機。