特許
J-GLOBAL ID:200903064207653741

光学特性測定装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (3件): 渡辺 望稔 ,  三和 晴子 ,  福島 弘薫
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2002-282523
公開番号(公開出願番号):特開2004-117236
出願日: 2002年09月27日
公開日(公表日): 2004年04月15日
要約:
【課題】照明側と受光側の両方の角度を変化させた場合の光学特性の測定を効率よく行えるようにする。【解決手段】光源ランプ、調光マスク、チューナブルフィルタ及び偏光フィルタを有する光源部と、前記光源部から射出され絞りを通過した光を平行光とする第一のリレーレンズ系と、前記平行光を前記測定試料上に集光する第一のコリメータレンズ系と、前記測定試料の透過光または反射光を平行光とする第二のコリメータレンズ系と、この平行光を集光する第二のリレーレンズ系と、集光され絞りを通過した光を、偏光フィルタ及びチューナブルフィルタを介して受光するCCDを有する受光部と、このデータに所定の信号処理を行う信号処理部とを備えた光学特性測定装置を提供することにより前記課題を解決する。【選択図】図1
請求項(抜粋):
測定試料の光学特性を測定する光学特性測定装置であって、 光源ランプ、2次元配列調光マスク、チューナブルフィルタ及び偏光フィルタを有する光源部と、 前記光源部から射出され絞りを通過した光を平行光とする第一のリレーレンズ系と、 前記平行光を前記測定試料上に集光する第一のコリメータレンズ系と、 前記測定試料の透過光または反射光を、平行光とする第二のコリメータレンズ系と、 前記第二のコリメータレンズ系による平行光を集光する第二のリレーレンズ系と、 前記第二のリレーレンズ系により集光され絞りを通過した光を、偏光フィルタ及びチューナブルフィルタを介して受光するCCDを有する受光部と、 前記受光部で受光した光のデータを受け取り、これに所定の信号処理を行う信号処理部と、 を備えたことを特徴とする光学特性測定装置。
IPC (4件):
G01N21/27 ,  G01M11/00 ,  G01N21/21 ,  G02B27/28
FI (4件):
G01N21/27 A ,  G01M11/00 T ,  G01N21/21 Z ,  G02B27/28 Z
Fターム (22件):
2G059AA02 ,  2G059BB10 ,  2G059BB15 ,  2G059EE01 ,  2G059EE02 ,  2G059EE05 ,  2G059GG04 ,  2G059GG10 ,  2G059HH02 ,  2G059JJ02 ,  2G059JJ07 ,  2G059JJ11 ,  2G059JJ19 ,  2G059JJ22 ,  2G059KK04 ,  2G059MM01 ,  2G059MM09 ,  2G086EE05 ,  2G086EE12 ,  2H099AA00 ,  2H099BA09 ,  2H099CA11

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