無機材料微細構造物の製造法

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-341260
公開番号（公開出願番号）：特開2002-148822
出願日： 2000年11月09日
公開日（公表日）： 2002年05月22日
要約：

【要約】【課題】寸法精度の高い良好な無機材料微細構造物の製造法を提供すること。【解決手段】基板上、特にその最上層にウレタン結合を有するオリゴマーを含む感光性樹脂組成物層を設けた後、パターンマスクを介して露光、現像し凹凸を有するパターンを形成し、パターンの凹部に溶射によって無機材料を埋込み、次いで焼成あるいは薬液により該パターンを除去する。

請求項（抜粋）：

基板上に、ウレタン結合を有するオリゴマーを含む感光性樹脂組成物層を設けた後、パターンマスクを介して露光、現像し凹凸を有するパターンを形成し、パターンの凹部に溶射によって無機材料を埋込み、次いで焼成あるいは薬液により該パターンを除去することを特徴とする無機材料微細構造物の製造法。

IPC (9件)：

G03F 7/40 , B32B 3/30 , B32B 9/00 , C08F290/06 , G03F 7/027 513 , H01J 9/02 , H01J 11/02 , C08F 2/44 , C08F 2/46

FI (9件)：

G03F 7/40 , B32B 3/30 , B32B 9/00 A , C08F290/06 , G03F 7/027 513 , H01J 9/02 F , H01J 11/02 B , C08F 2/44 C , C08F 2/46

Fターム (96件)：

2H025AA02 , 2H025AA03 , 2H025AB11 , 2H025AB14 , 2H025AB17 , 2H025AC01 , 2H025AD01 , 2H025BC13 , 2H025BC66 , 2H025CA00 , 2H025DA13 , 2H025FA17 , 2H025FA39 , 2H025FA47 , 2H096AA27 , 2H096AA28 , 2H096BA01 , 2H096EA02 , 2H096GA08 , 2H096HA30 , 2H096KA02 , 2H096LA02 , 2H096LA06 , 4F100AA00B , 4F100AA19 , 4F100AB00B , 4F100AD00B , 4F100AG00 , 4F100AT00A , 4F100BA02 , 4F100DC21B , 4F100EH56 , 4F100EJ15 , 4F100EJ48 , 4F100EJ52 , 4F100GB43 , 4F100JK01 , 4F100JL01 , 4J011PA76 , 4J011PA86 , 4J011PA88 , 4J011PA90 , 4J011PA95 , 4J011PB30 , 4J011PB40 , 4J011PC02 , 4J011PC08 , 4J011QA03 , 4J011QA06 , 4J011QA13 , 4J011QA17 , 4J011QA18 , 4J011QA22 , 4J011QA23 , 4J011QA33 , 4J011QA34 , 4J011QA46 , 4J011QB16 , 4J011QB24 , 4J011RA03 , 4J011RA07 , 4J011RA10 , 4J011SA01 , 4J011SA21 , 4J011SA31 , 4J011SA41 , 4J011SA63 , 4J011SA64 , 4J011SA78 , 4J011SA83 , 4J011UA01 , 4J011WA01 , 4J027AG03 , 4J027AG04 , 4J027AG22 , 4J027BA07 , 4J027BA08 , 4J027BA19 , 4J027BA20 , 4J027BA21 , 4J027BA22 , 4J027BA24 , 4J027BA25 , 4J027BA26 , 4J027BA27 , 4J027BA28 , 4J027CA03 , 4J027CA06 , 4J027CA10 , 4J027CC05 , 4J027CD10 , 5C027AA09 , 5C040GF18 , 5C040GF19 , 5C040KB13 , 5C040MA24

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