特許

J-GLOBAL ID：200903064212720740

静電式アクチユエータ

発明者： 中川 亘 ,  鶴岡 亨彦
出願人/特許権者： 富士電機株式会社
代理人 (1件)： 松崎 清
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-175822
公開番号（公開出願番号）：特開平5-076186
出願日： 1991年06月21日
公開日（公表日）： 1993年03月26日
要約：

【要約】【目的】 大きな駆動力を発生させ、変位量を大きくすることができる静電アクチュエータを提供する。【構成】 複数の櫛歯状固定電極11に対し、1対の電極が絶縁体を介して上下に形成された複数の櫛歯状可動電極21を互いに噛み合うように配置し、例えば上側の可動電極には案内部材3Aを介して正の電圧を、下側の可動電極と固定電極11には負の電圧をそれぞれ印加すると、可動電極21の上と下とで電界強度に差ができるので、これを利用して大きな静電駆動力が得られるようにし、変位量の増大を図る。

請求項（抜粋）：

櫛歯状の固定電極を持つ固定部材と、絶縁体により互いに絶縁され前記固定電極の櫛歯と噛み合う櫛歯状の第1,第2の可動電極を持つ可動部材と、この可動部材を一方向にのみ案内する案内部材とを備え、この案内部材を介して前記可動電極のいずれか一方および固定電極と残りの可動電極との間に電圧を印加して前記可動部材を一方向に駆動可能にしてなることを特徴とする静電式アクチュエータ。