レイアウトコンパクション方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：宮井暎夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-113512
公開番号（公開出願番号）：特開2001-297126
出願日： 2000年04月14日
公開日（公表日）： 2001年10月26日
要約：

【要約】【課題】回路設計データに含まれる不規則な配置のレイアウトパターンに対しても光近接効果を考慮したレイアウトコンパクションを行って半導体集積回路装置の集積度の向上を行う。【解決手段】コンパクション制御ステップ2でコンパクション条件を生成し、OPC条件生成ステップ8でOPC条件を生成し、レイアウト圧縮ステップ3で入力レイアウトパターンのコンパクションを行い、光近接効果補正ステップ4で光近接効果補正を行い、補正レイアウトパターン保存ステップ5で光近接効果補正後のレイアウトパターンを保持し、検証ステップ6,10でコンパクション後および光近接効果補正後のレイアウトパターンで回路動作を確認し、不具合がある場合のレイアウトパターンをエラーデータ保存ステップ7で保持し、再度コンパクション制御ステップ2で光近接効果とエラーデータを考慮したコンパクション条件を生成し、以上の工程を繰り返す。

請求項（抜粋）：

入力レイアウトパターンに適したコンパクション条件を生成するコンパクション制御ステップと、前記コンパクション制御ステップにより生成された前記コンパクション条件を加味した光近接効果補正条件を生成する光近接効果補正条件生成ステップと、前記入力レイアウトパターンを前記コンパクション条件に従ってコンパクションしコンパクション済みレイアウトパターンを生成するレイアウト圧縮ステップと、前記入力レイアウトパターンおよび前記コンパクション済みレイアウトパターンをデータとして受け取り、前記入力レイアウトパターンおよび前記コンパクション済みレイアウトパターンを比較することで前記コンパクション済みレイアウトパターンが正しく回路動作することの確認を行い不具合が発生した場合に第1のエラーデータを出力する第1の検証ステップと、前記コンパクション済みレイアウトパターンに対して前記光近接効果補正条件に従って光近接効果補正を行い光近接効果補正済みレイアウトパターンを生成する光近接効果補正ステップと、前記コンパクション済みレイアウトパターンおよび前記光近接効果補正済みレイアウトパターンをデータとして受け取り、前記光近接効果補正済みレイアウトパターンによってウェハ上に形成される仕上がりパターンを求め、前記コンパクション済みレイアウトパターンおよび前記仕上がりパターンを比較することにより前記光近接効果補正済みレイアウトパターンが適正に形成されていることの確認を行い不具合が発生した場合に第2のエラーデータを出力する第2の検証ステップと、前記第1のエラーデータおよび第2のエラーデータを保持し前記コンパクション条件の生成を制御するエラー保存ステップとを含むことを特徴とするレイアウトコンパクション方法。

IPC (8件)：

G06F 17/50 658 , G06F 17/50 , G06F 17/50 666 , G03F 1/08 , H01L 21/027 , H01L 21/82 , H01L 27/04 , H01L 21/822

FI (7件)：

G06F 17/50 658 B , G06F 17/50 658 M , G06F 17/50 666 S , G03F 1/08 D , H01L 21/30 502 P , H01L 21/82 C , H01L 27/04 A

Fターム (19件)：

2H095BA01 , 2H095BB02 , 2H095BB31 , 5B046AA08 , 5B046BA05 , 5B046JA04 , 5F038CA02 , 5F038CA03 , 5F038CA17 , 5F038EZ09 , 5F064DD02 , 5F064DD03 , 5F064DD05 , 5F064DD08 , 5F064EE02 , 5F064EE03 , 5F064EE14 , 5F064EE17 , 5F064HH06

引用特許：

審査官引用 (2件)

特開平1-291378
特開平1-291378

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