特許

J-GLOBAL ID：200903064217314210

搬送方法及び搬送装置、位置決め方法及び位置決め装置、基板保持方法及び基板保持装置、露光方法及び露光装置、デバイスの製造方法及びデバイス

発明者： 田中 慶一
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 志賀 正武 (外5名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-395236
公開番号（公開出願番号）：特開2001-250857
出願日： 2000年12月26日
公開日（公表日）： 2001年09月14日
要約：

【要約】【課題】 装置の小型化を実現し、基板を効率良く搬送することができる搬送方法及び搬送装置、並びに位置決め動作に伴う機械的な動作や振動の発生を抑制することができる位置決め方法及び位置決め装置、基板保持方法及び基板保持装置を提供する。【解決手段】 露光装置1は、プレート3に沿って並ぶ複数の電極4と、複数の電極4に電圧を印加して基板Pを帯電させた後、この基板Pに帯電した電荷の符号と同じ符号になるように複数の電極4に電圧を印加し、基板Pにおける誘電分極に要する時間に応じて複数の電極4に印加する電圧を切り替える制御装置9とを有する搬送装置Hを備えている。基板Pは、静電気力により、プレート3に対して非接触状態で高速に搬送される。

請求項（抜粋）：

基板を搬送面に沿って搬送する搬送方法において、前記搬送面に沿って並ぶ複数の電極に電圧を印加して前記基板を帯電させた後、該基板に帯電した電荷の符号と同じ符号になるように前記複数の電極に電圧を印加して前記基板を前記搬送面に対して静電気力により浮上させ、前記基板における誘電分極に要する時間に応じて前記複数の電極に印加する電圧を切り替えることにより前記基板を搬送することを特徴とする搬送方法。

IPC (3件)：

H01L 21/68 ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/027

FI (6件)：

H01L 21/68 A ,  H01L 21/68 F ,  H01L 21/68 N ,  H01L 21/68 R ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/30 502 J