特許

J-GLOBAL ID：200903064220229444

走査電子顕微鏡

発明者： 御代川 俊明
出願人/特許権者： 日本電子株式会社
代理人 (1件)： 井島 藤治 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-356224
公開番号（公開出願番号）：特開2000-182558
出願日： 1998年12月15日
公開日（公表日）： 2000年06月30日
要約：

【要約】【課題】 簡単な構成で2次電子の検出効率を高めることができる走査電子顕微鏡を実現する。【解決手段】 複合対物レンズ1の上部に2次電子検出器11を配置し、磁界型対物レンズ2の下部磁極5の内径を上部磁極4の内径より大きくすると共に、接地電位の上部電極7と負電位の下部電極8とより構成される静電型対物レンズ3の上部電極7の内径を下部電極8の内径より大きくする。

請求項（抜粋）：

電子銃からの電子ビームを対物レンズによって試料上に細く集束すると共に、試料上で電子ビームを2次元的に走査し、この走査に基づいて試料から得られた信号に基づいて試料像を陰極線管上に表示するようにした走査電子顕微鏡において、対物レンズを磁界型対物レンズと磁界型対物レンズの形成する磁場内に配置された静電型対物レンズとにより構成された複合レンズとし、複合対物レンズの上部に2次電子検出器を配置し、磁界型対物レンズの下部磁極内径を上部磁極内径より大きくすると共に、静電型対物レンズを接地電位の上部電極と負電位の下部電極とより構成し、この上部電極の内径を下部電極の内径より大きくしたことを特徴とする走査電子顕微鏡。

IPC (3件)：

H01J 37/244 ,  H01J 37/141 ,  H01J 37/145

FI (3件)：

H01J 37/244 ,  H01J 37/141 A ,  H01J 37/145

Fターム (6件)：

5C033DD04 ,  5C033DD09 ,  5C033DD10 ,  5C033NN01 ,  5C033NP01 ,  5C033NP05