特許
J-GLOBAL ID：200903064232649791
蛍光検出装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
大日方 富雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-029659
公開番号（公開出願番号）：特開2007-212170
出願日： 2006年02月07日
公開日（公表日）： 2007年08月23日
要約：
【課題】 試料スポットの微細化に対応して蛍光検出のスキャンを高速に且つ高精度に行うことの出来る蛍光検出装置を提供する。【解決手段】 検査チップに励起光を集束させるとともに前記蛍光を受光する対物レンズ16と、該対物レンズ16をフォーカス方向と該フォーカス方向と交差するX方向およびY方向の3軸方向へ変位させるレンズアクチュエータ30とを備えた蛍光検出装置である。そして、レンズアクチュエータ30は、前記対物レンズを保持するレンズホルダ31と、レンズホルダ31の上下四隅をそれぞれ支持する8本の線状バネ32...と、レンズホルダ31の側面に設けられた電磁コイル35,36...と、レンズホルダ31の側面と対向配置された磁石38とを備え、前記8本の線状バネ32...の各々は、機枠に固定される部位と前記レンズホルダ31に固着される部位との間で一部が曲げられた形状をしている構成とした。【選択図】 図3
請求項（抜粋）：
試料が付着された検査チップに励起光を集束させ、そこから発光される蛍光を検出することで試料の検査を行う蛍光検出装置であって、
前記検査チップに励起光を集束させるとともに前記蛍光を受光する対物レンズと、
該対物レンズをフォーカス方向と該フォーカス方向と交差するX方向およびY方向の3軸方向へ変位させるレンズアクチュエータとを備え、
前記レンズアクチュエータは、
前記対物レンズを保持するレンズホルダと、
該レンズホルダの上下四隅をそれぞれ支持する8本の線状バネと、
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (19件)：
2G043AA03
, 2G043BA16
, 2G043CA04
, 2G043FA02
, 2G043FA06
, 2G043GA04
, 2G043GB18
, 2G043GB19
, 2G043HA01
, 2G043HA09
, 2G043JA03
, 2G043KA05
, 2G043LA02
, 2H052AA07
, 2H052AA09
, 2H052AC06
, 2H052AC15
, 2H052AC27
, 2H052AF07
