特許

J-GLOBAL ID：200903064237222400

走査型プローブ顕微鏡及び試料観察方法

発明者： 佐藤 博文 ,  山田 理 ,  川俣 茂
出願人/特許権者： 株式会社日立ハイテクノロジーズ ,  株式会社日立サイエンスシステムズ
代理人 (1件)： 平木 祐輔
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-233851
公開番号（公開出願番号）：特開2004-077146
出願日： 2002年08月09日
公開日（公表日）： 2004年03月11日
要約：

【課題】非接触でマイクロメートルオーダ以下の凹凸を安定に精度よく測定、あるいは画像形成する。【解決手段】プラズマ中に置かれた試料表面に形成されるシースとプラズマの境界を微細な静電プローブ18で検知し、これをトレースする。また、プラズマ特性を変化させ、プローブ・試料間距離を試料に応じて制御する。【選択図】 図4

請求項（抜粋）：

試料室と、前記試料室中にプラズマを生成するプラズマ生成手段と、前記試料室中に試料を保持する試料保持台と、前記試料保持台に保持された試料に対向して配置されプラズマ中の電子又はイオンを検出する静電プローブと、前記静電プローブの先端と前記試料台との間の距離を変化させる第1の方向に前記静電プローブあるいは前記試料台を駆動する第1の駆動手段と、前記静電プローブあるいは前記試料台を前記第1の方向と直交する第2の方向に駆動する第2の駆動手段と、前記静電プローブに流れる電流を検出する電流検出手段と、前記電流検出手段によって検出された電流が所定の値になるように前記第1の駆動手段を制御する制御手段とを備え、 前記制御手段によって制御される前記第1の駆動手段によって前記静電プローブの先端をプラズマ中で試料表面に形成されるシースとプラズマの境界位置に保持しながら前記第2の駆動手段によって前記静電プローブを試料に対して相対的に前記第2の方向に走査し、試料に対する前記静電プローブの位置情報を出力することを特徴とする走査型プローブ顕微鏡。

IPC (2件)：

G01N13/10 ,  G01B7/34

FI (2件)：

G01N13/10 A ,  G01B7/34 Z

Fターム (10件)：

2F063AA43 ,  2F063DA01 ,  2F063DA05 ,  2F063DB05 ,  2F063DC08 ,  2F063DD02 ,  2F063EA16 ,  2F063EB30 ,  2F063FA07 ,  2F063PA01