長尺物体の表面形状測定装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：影井俊次
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-027109
公開番号（公開出願番号）：特開平6-221828
出願日： 1993年01月25日
公開日（公表日）： 1994年08月12日
要約：

【要約】【目的】長尺の被測定物体の表面の凹凸形状を、その長手方向と直交する方向に等高線モアレ縞を形成して、この被測定物体と格子板を装着した本体ケーシングとを相対移動させることによって、被測定物体全体の表面凹凸形状を容易に測定できるようにする。【構成】本体ケーシング1をベルト6の上に装着した状態で、ランプ11を点灯させると、照明光が格子板10に照射され、この格子板10に設けた細かいピッチ間隔に形成した格子の隙間を透過した光がベルト6に投影されて、このベルト6の表面の三次元形状に応じた等高線モアレ縞の像が観察されるが、格子板10はベルト6の走行方向と直交する方向に傾けれらており、これによりベルト6の走行方向と直交する方向に複数の等高線モアレ縞が現れる。ベルト6の平面部6aに盛り上がった部位や窪んだ部位があると、等高線が乱れることになり、ベルト6の凹凸変形量に応じて等高線の乱れの方向と乱れ量が変化するから、ベルト6の平面部6aのどの位置において、どれ位の範囲に凹凸があり、また凸部の高さや凹部の深さまで測定できる。

請求項（抜粋）：

光源とモアレ縞形成用の格子板とを備えた本体ケーシングを、長尺の被測定物体の被測定面の上部に、その格子板が被測定面に向くように配設させて、本体ケーシングと被測定物体との間を相対移動させながら、被測定表面の凹凸形状の測定を行うものであって、前記格子板を被測定物体に対して、その移動方向に向けて所定の角度傾けた状態に配置する構成としたことを特徴とする長尺物体の表面形状測定装置。

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