特許
J-GLOBAL ID:200903064244694822

洗浄乾燥方法および洗浄乾燥装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 木村 高久
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平8-273507
公開番号(公開出願番号):特開平10-118586
出願日: 1996年10月16日
公開日(公表日): 1998年05月12日
要約:
【要約】【目的】 取扱いが安全で、短時間で良好な洗浄および乾燥を達成する。【解決手段】 本発明の第1では、処理槽9内に、所望の温度に加熱された洗浄水を供給し、水面が固体1を十分に覆う高さとなるように洗浄水層を形成し、この洗浄水中で前記固体を洗浄する洗浄工程と、前記洗浄水層の水面を下降させるかまたは前記固体を洗浄水層から気相にむけて移動させ水面を通過させる通過工程と、前記気相内で、前記固体を乾燥させる乾燥工程とを含み、前記固体を洗浄乾燥する方法において、前記通過工程の間、前記気相は、前記洗浄液と混合して、表面張力が小さい混合液を構成する乾燥用薬液の蒸気を含有しており、前記気相における前記蒸気の濃度が、前記固体表面で一時的に凝縮を生じる程度となるように構成したことを特徴とする。
請求項(抜粋):
処理槽内に、所望の温度に加熱された洗浄水を供給し、水面が固体を十分に覆う高さとなるように洗浄水層を形成し、この洗浄水中で前記固体を洗浄する洗浄工程と、前記洗浄水層の水面を下降させるかまたは前記固体を洗浄水層から気相にむけて移動させ水面を通過させる通過工程と、前記気相内で、前記固体を乾燥させる乾燥工程とを含み、前記固体を洗浄乾燥する方法において前記通過工程の間、前記気相は、前記洗浄液と混合して、表面張力が小さい混合液を構成する乾燥用薬液の蒸気を含有しており、前記気相における前記蒸気の濃度が、前記固体表面で一時的に凝縮を生じる程度となるように構成したことを特徴とする洗浄乾燥方法。

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