混酸の濃度測定方法および濃度測定装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：青山葆 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-050574
公開番号（公開出願番号）：特開平6-265471
出願日： 1993年03月11日
公開日（公表日）： 1994年09月22日
要約：

【要約】【目的】半導体や液晶表示装置等の製造工程においてプロセス用薬剤として使用される混酸中の酸の濃度を複成分連続的に正確に同時定量することである。【構成】光透過検出用のフローセル11中に測定対象の混酸を導入し、データ処理装置53のマイクロプロセッサ54により、A/D変換器52でディジタル信号に変換された受光素子12の混酸の透過光強度信号から各波長の光の吸光度をそれぞれ演算するとともに、演算した各波長の光の吸光度と多変量解析法により予め求めた検量線式に基づいて混酸中の酸の濃度を演算する。

請求項（抜粋）：

測定対象の混酸に光を透過または反射させ、複数波長の光についてその各強度をそれぞれ検出し、その検出値に基づいて上記混酸中の酸の濃度を測定する混酸の濃度測定方法であって、酸の濃度が既知の複数の混酸のサンプルについて複数波長の光の吸光度を測定してこれら吸光度と混酸の酸の濃度との間の定数項を含む吸光度の多次多項式を用いて多変量解析法により検量線式を予め求めておき、光透過または反射検出用のセルに測定対象の上記混酸を導入し、各波長の上記光についてセル内の混酸の透過または反射光の強度値を測定し、これら強度値から各波長の上記光の吸光度をそれぞれ演算し、演算した各波長の上記光の吸光度と上記検量線式を用いて、上記混酸中の酸の濃度を演算することを特徴とする混酸の濃度測定方法。

IPC (2件)：

G01N 21/35 , G01N 21/27

引用特許：

審査官引用 (11件)

特開平3-175341
特開昭64-059018
特開昭55-106360

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