特許
J-GLOBAL ID:200903064253541222
カラーフィルターの製造方法および製造装置
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
中島 淳 (外3名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平10-356818
公開番号(公開出願番号):特開2000-180623
出願日: 1998年12月15日
公開日(公表日): 2000年06月30日
要約:
【要約】【課題】 フォトリソグラフィー工程を経ずに、表面平滑性に富み、かつ鮮鋭で、高解像度なカラーフィルターの製造方法を提供する。【解決手段】 光透過性の基体上に、光透過性の導電膜および光起電力機能を有する光透過性の光半導体薄膜をこの順に積層した基板の、少なくとも前記光半導体薄膜を、金属を含有する電着材料を含む電解液に接触させ、電圧を印加するとともに、光照射することにより未照射部、或いは、照射部に選択的に金属メッキ薄膜のブラックマトリックスを形成する工程と、選択的に電極部分が形成された前記基板を、色材を含有する電着材料を含む電解液に接触させて光照射し、前記基板上の光半導体薄膜の光照射部に選択的に光起電力を発生させ、電気化学的に前記色材を含有する電着材料を析出させて着色電着膜を形成する工程と、を含むカラーフィルターの製造方法。
請求項(抜粋):
光透過性の基体上に、光透過性の導電膜および光起電力機能を有する光透過性の光半導体薄膜をこの順に積層した基板の、少なくとも前記光半導体薄膜を、金属を含有する電着材料を含む電解液に接触させ、電圧を印加するとともに、光照射することにより未照射部分に選択的に金属メッキ薄膜のブラックマトリックスを形成する工程と、選択的に電極部分が形成された前記基板を、色材を含有する電着材料を含む電解液に接触させて光照射し、前記基体上の光半導体薄膜の光照射部に選択的に光起電力を発生させ、電気化学的に前記色材を含有する電着材料を析出させて着色電着膜を形成する工程と、を含むカラーフィルターの製造方法。
IPC (3件):
G02B 5/20 101
, G02F 1/1335 505
, H01L 27/14
FI (3件):
G02B 5/20 101
, G02F 1/1335 505
, H01L 27/14 D
Fターム (24件):
2H048BA62
, 2H048BB02
, 2H048BB14
, 2H048BB42
, 2H048BB46
, 2H091FA02Y
, 2H091FA35Y
, 2H091FC06
, 2H091FC10
, 2H091FC23
, 2H091FC29
, 2H091GA01
, 2H091GA03
, 2H091GA14
, 2H091LA12
, 2H091LA16
, 4M118AA10
, 4M118AB01
, 4M118BA10
, 4M118FA06
, 4M118GB11
, 4M118GB19
, 4M118GC08
, 4M118GC17
引用特許:
審査官引用 (7件)
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特開平4-104101
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カラーフイルタの製造方法
公報種別:公開公報
出願番号:特願平3-314282
出願人:大日本印刷株式会社
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画像形成方法及び装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平8-274768
出願人:富士ゼロックス株式会社
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