ポリマー、膜形成用組成物、絶縁膜およびその製造方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (5件)：小栗昌平 , 本多弘徳 , 市川利光 , 高松猛 , 矢澤清純
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-284889
公開番号（公開出願番号）：特開2007-091935
出願日： 2005年09月29日
公開日（公表日）： 2007年04月12日
要約：

【課題】新規なポリマー、特に、電子デバイスなどに用いられる誘電率、機械強度等の膜特性が良好な膜形成組成物に用いられるポリマー、さらには膜形成組成物を用いて得られる絶縁膜およびそれを有する電子デバイスを提供する。【解決手段】エチレン性二重結合またはアセチレン性三重結合を分岐末端にもつデンドリマーとケイ素原子に結合した水素原子を少なくとも2つ以上有する化合物とをヒドロシリル化反応させて得られるポリマー、該ポリマーを含有する膜形成用組成物、該組成物を用いて得られる絶縁膜、及び該絶縁膜を有する電子デバイス。【選択図】なし

請求項（抜粋）：

エチレン性二重結合またはアセチレン性三重結合を分岐末端にもつデンドリマーとケイ素原子に結合した水素原子を少なくとも2つ以上有する化合物とをヒドロシリル化反応させて得られることを特徴とするポリマー。

IPC (8件)：

C08G 77/50 , C08L 83/14 , H01L 21/312 , C09D 183/14 , H01L 21/768 , H01L 23/522 , B05D 3/02 , B05D 7/24

FI (8件)：

C08G77/50 , C08L83/14 , H01L21/312 C , C09D183/14 , H01L21/90 S , H01L21/90 P , B05D3/02 Z , B05D7/24 302Y

Fターム (82件)：

4D075AC64 , 4D075BB26Z , 4D075BB28Z , 4D075BB56 , 4D075CA23 , 4D075DC22 , 4D075EB43 , 4J002CP04X , 4J002CP13W , 4J002CP14W , 4J002EA056 , 4J002EC036 , 4J002ED026 , 4J002EE036 , 4J002EH036 , 4J002EH046 , 4J002EP016 , 4J002EU026 , 4J002FD130 , 4J002FD200 , 4J002FD206 , 4J002FD310 , 4J002GQ01 , 4J002GT00 , 4J038DL101 , 4J038JC30 , 4J038KA06 , 4J038NA11 , 4J038NA21 , 4J038PB09 , 4J246AA03 , 4J246AA06 , 4J246AA09 , 4J246AB07 , 4J246AB14 , 4J246BA12X , 4J246BA120 , 4J246BB020 , 4J246BB021 , 4J246BB130 , 4J246BB132 , 4J246BB140 , 4J246BB142 , 4J246CA01E , 4J246CA01U , 4J246CA01X , 4J246CA010 , 4J246CA230 , 4J246CA24E , 4J246CA24X , 4J246CA240 , 4J246CA33E , 4J246CA33U , 4J246CA34E , 4J246CA34U , 4J246CA36U , 4J246CA360 , 4J246CA40X , 4J246CA400 , 4J246FA221 , 4J246FC161 , 4J246GA01 , 4J246GC02 , 4J246GC53 , 4J246GD08 , 4J246GD09 , 4J246HA62 , 5F033QQ82 , 5F033QQ84 , 5F033RR21 , 5F033RR23 , 5F033SS22 , 5F033XX00 , 5F033XX24 , 5F058AA10 , 5F058AC03 , 5F058AD05 , 5F058AF04 , 5F058AG01 , 5F058AH02 , 5F058BD19 , 5F058BJ02

引用特許：

出願人引用 (2件)

籠状シルセスキオキサン含有組成物
公報種別：公開公報出願番号：特願2001-177427 出願人：旭化成株式会社
有機溶剤可溶性の水素化オクタシルセスキオキサン-ビニル基含有化合物共重合体及び同共重合体からなる絶縁材料
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-072307 出願人：ダウコーニングアジア株式会社

前のページに戻る