特許
J-GLOBAL ID:200903064267111808

薄膜形成装置、薄膜形成方法及びそれを用いる複合レンズの製造方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 西脇 民雄
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平9-180203
公開番号(公開出願番号):特開平11-020037
出願日: 1997年07月07日
公開日(公表日): 1999年01月26日
要約:
【要約】【課題】 マスキングなどの作業を行わなくても、レンズ基材側面に液の回り込みが生じないスピンコートによる薄膜形成装置、薄膜形成方法及びそれを用いる複合レンズの製造方法を提供する。【解決手段】 この発明のスピンコート装置は、レンズ基材6を保持する保持部3と、保持部3により保持されたレンズ基材6に接着剤7を塗布する塗布手段8と、保持部3を回転させる回転駆動部32とを有する。この保持部3は回転駆動部32により回転され、保持部3の回転軸A1は、塗布面6a側を鉛直方向下方に向かっている。
請求項(抜粋):
レンズ基材を保持する保持部と、該保持部により保持されたレンズ基材に接着剤を塗布する塗布手段と、前記保持部を回転させる駆動部とを有し、前記レンズ基材の塗布面が下方に向くように前記保持部に保持されていることを特徴とするスピンコートによる薄膜形成装置。
IPC (5件):
B29D 11/00 ,  B05C 11/08 ,  B05D 1/40 ,  B05D 7/00 ,  G02B 3/02
FI (5件):
B29D 11/00 ,  B05C 11/08 ,  B05D 1/40 A ,  B05D 7/00 K ,  G02B 3/02

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