特許

J-GLOBAL ID：200903064268520949

水素ガス検知素子

発明者： 安川 佳和
出願人/特許権者： 株式会社クラベ
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-316430
公開番号（公開出願番号）：特開平6-148112
出願日： 1992年10月30日
公開日（公表日）： 1994年05月27日
要約：

【要約】【目的】 本発明の目的は、水素ガスに対して高い感度と選択性を有するとともに、優れた応答性を示すガス検知素子を提供することにある。【構成】 本発明による水素ガス検知素子は、絶縁基板(1)と、一対の電極(3)と、In2O3からなる薄膜状ガス感応体(2)と、Pdからなる触媒(4)と、Si酸化物からなる部分被毒剤(5)と、から構成されたことを特徴とするものである。

請求項（抜粋）：

絶縁基板と、一対の電極と、In2O3(酸化インジウム)からなる薄膜状ガス感応体と、Pd(パラジウム)からなる触媒と、Si(ケイ素)酸化物からなる部分被毒剤と、から構成された水素ガス検知素子。