特許

J-GLOBAL ID：200903064269004669

ウエハの分離搬送装置

発明者： 勝俣 昇 ,  仲山 昭博 ,  原田 豊和
出願人/特許権者： 株式会社日平トヤマ
代理人 (1件)： 恩田 博宣
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-042251
公開番号（公開出願番号）：特開平9-237817
出願日： 1996年02月29日
公開日（公表日）： 1997年09月09日
要約：

【要約】【課題】 ウエハを損傷することなく一枚ずつ分離して搬出方向へ確実に搬送することができるようにする。【解決手段】 支持台26上に多数枚のウエハ27を積層状態で支持する。支持台26の上昇により、最上部に位置する1枚のウエハ27を水面121付近に配置する。最上部のウエハ27の上面に対し水を噴射することにより、最上部のウエハ27を他のウエハ27から分離して搬出方向へ搬送する。ストッパ77は、最上部のウエハ27の搬出方向への搬送のみを許容して、他のウエハ27の搬出方向への移動を阻止する。支持台26を傾動機構76により傾動させることにより、支持台26上のウエハ27の傾きを調整して、最上部のウエハ27がストッパ77に干渉しないようにかつ、他のウエハ27の搬出方向への移動がストッパ77によって阻止され得るようにする。

請求項（抜粋）：

多数枚のウエハを積層状態で支持するとともに、それらのウエハ群を積層状態のまま上昇させる支持手段と、所定の分離位置に上昇配置された最上部のウエハの上面に対し流体を噴射して、最上部のウエハを他のウエハから分離させる分離手段と、その分離されたウエハを液流を利用して搬出方向へ搬送する搬送手段と、前記最上部のウエハの搬出方向への搬送のみを許容して、他のウエハの搬出方向への移動を阻止するストッパとを備えたウエハの分離搬送装置において、前記最上部のウエハがストッパに干渉しないようにかつ、他のウエハの搬出方向への移動がストッパによって阻止され得るように、前記ウエハ群の傾きを調整するための傾き調整手段を設けたウエハの分離搬送装置。

IPC (2件)：

H01L 21/68 ,  B65H 3/48 310

FI (2件)：

H01L 21/68 A ,  B65H 3/48 310 Z

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 積重ねたウエーハを自動的に個別化する装置及び方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-018267   出願人：ワツカー・ケミトロニク・ゲゼルシヤフト・フユア・エレクトロニク・グルントシユトツフエ・ミツト・ベシユレンクテル・ハフツング
• 特開平4-154144
  
• 特公昭42-021711
  
• 特開平2-025028