特許
J-GLOBAL ID：200903064276648687
静電アクチュエータ
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
大胡 典夫 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-307728
公開番号（公開出願番号）：特開2002-119073
出願日： 2000年10月06日
公開日（公表日）： 2002年04月19日
要約：
【要約】【課題】 可動子の移動範囲を従来よりも大きくした静電アクチュエータの提供。【解決手段】 静電アクチュエータは、固定子1,2、可動子3、ホルダ4を有する。固定子1はホルダ4に固定されホルダ4と共に固定子枠を形成する。固定子2は固定子1に対向し所定間隔隔ててホルダ4に嵌着される。固定子1,2には所定方向に延伸するストライプ状に固定子電極5a1,5a2,5a3、5b1,5b2,5b3が形成される。可動子3は所定間隔内に配置されて、所定方向に移動可能な支持体3-1と支持体3-1表面で各固定子電極に対向して形成された可動子電極7a1〜7a3、7b1〜7b3とからなる。可動子電極7a1〜7aは移動方向側に、7b1〜7b3は移動方向と逆側に偏位して配置される。この各固定子電極に所定タイミングで電圧を印加することで可動子3を吸引し、可動子3を移動させる。
請求項（抜粋）：
選択的に電圧が供給される所定の間隔を隔てた1対の固定子電極を備えた固定子と、前記間隔内に配置され、所定方向に移動可能な支持体、および、この支持体の前記固定子電極に対向する側面に配置された1対の可動子電極とを備えた可動子とを備えた静電アクチュエータにおいて、前記1対の固定子電極のそれぞれは、前記所定方向に延伸した複数のストライプ状電極からなり、前記1対の可動子電極のそれぞれは、前記複数のストライプ状電極に対向するように複数の導電部材からなり、これら複数の導電部材の第1のグループは、前記可動子の移動方向側に偏位して配置されるとともに、前記複数の導電部材の第2のグループは、前記可動子の移動方向とは逆側に偏位して配置されることを特徴とする静電アクチュエータ。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (3件)：
2H044BE02
, 2H044BE06
, 2H044BE10
