熱波測定方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：矢野敏雄 (外4名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-566657
公開番号（公開出願番号）：特表2002-523739
出願日： 1999年08月18日
公開日（公表日）： 2002年07月30日
要約：

【要約】電気的に変調可能な熱光源の2つまたは複数の個別周波数による同時のマルチ周波数励振により、種々異なった制御周波数に相応する並列な評価が可能になる。これにより、マルチレイヤ系の測定の際の測定時間が著しく短縮される。制御周波数の個別周波数成分の適当な選択によって、これらを測定課題に整合させることができる。

請求項（抜粋）：

層構造の幾何学的および/または熱的な特徴を無接触に測定するための熱波測定方法であって、変調可能な熱源を異なった周波数によって制御し、かつ層構造を周期的に加熱し、層構造から放出された、強度が相応に変調された赤外線を受信しかつ振幅および/または位相に基づいてその都度制御周波数の関数として評価し、ここで熱源は同時に少なくとも2つの前以て決められた離散的な周波数によって振幅変調され、かつ層構造から放出された赤外線を同時に制御周波数に対応させて評価する熱波測定方法。

IPC (3件)：

G01N 25/16 , G01N 25/18 , G01J 5/62

FI (3件)：

G01N 25/16 Z , G01N 25/18 H , G01J 5/62 A

Fターム (16件)：

2G040AB07 , 2G040AB08 , 2G040BA26 , 2G040CA12 , 2G040CA23 , 2G040DA12 , 2G040EA06 , 2G040EB02 , 2G040EC02 , 2G040HA15 , 2G040HA16 , 2G066AA02 , 2G066AC20 , 2G066BA34 , 2G066BC30 , 2G066CA11

引用特許：

出願人引用 (6件)

光熱変位計測による試料評価方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-172948 出願人：株式会社神戸製鋼所
特開昭59-085908
特開昭62-251640

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審査官引用 (6件)

光熱変位計測による試料評価方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-172948 出願人：株式会社神戸製鋼所
特開昭59-085908
特開昭62-251640

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