特許
J-GLOBAL ID：200903064283392434
二次電子分光装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
杉村 暁秀 (外5名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-052269
公開番号（公開出願番号）：特開平6-265491
出願日： 1993年03月12日
公開日（公表日）： 1994年09月22日
要約：
【要約】【目的】 同一元素を含む複数の物質が存在するサンプル中のある元素を観測する際に、X線とともに照射する紫外線の波長を変更して、前記複数の物質の中の特定の物質のみを選択的に観測し得るような二次電子分光装置を提供する。【構成】 YAGレーザ光源1からのレーザ光をハーフミラー30で分岐し、非線形結晶32で紫外波長域の3倍高調波に変換し、オプティカルパラメトリック発振器33で紫外線波長を観測対象物質に応じて調整し、ミラー34で光路を変更し、高調波発生器35でさらに高調波に変換し、集光レンズ36でサンプル上に集光し、ウェッジ37で紫外線の強度を調整し、真空試料室8に設けた紫外線透過窓38を介してサンプル11に励起用輻射線としての紫外線を照射する紫外線光路を構成し、サンプル11にはX線とともに紫外線を照射する。
請求項（抜粋）：
励起用輻射線源と、X線源と、前記輻射線源およびX線源よりサンプルに励起用輻射線およびX線源を照射したとき該サンプルが放出する二次電子を検出する検出器とを具えて成ることを特徴とする、二次電子分光装置。
引用特許：
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