表面形状計測装置

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-024070
公開番号（公開出願番号）：特開平11-211439
出願日： 1998年01月22日
公開日（公表日）： 1999年08月06日
要約：

【要約】【課題】本発明は、共焦点撮像系によりZスキャン機構無しで物体の表面形状計測を可能とすることを目的とする。【解決手段】物体側ピント面2がXテーブル1の移動方向に対して傾くように共焦点撮像系Aを設置し、Xテーブル1の移動により物体側ピント面2に垂直な方向に、物体側ピント面2に対する物体4の表面位置が変化するように構成する。

請求項（抜粋）：

少なくとも一軸の移動機構と、前記移動機構の、ある軸の移動方向に対して物体側のピント面が傾斜するように配置された共焦点撮像系と、前記共焦点撮像系の視野を前記移動方向にN等分し、1/N視野移動する毎に前記共焦点撮像系により共焦点画像を得て、得られた複数の共焦点画像から物体の表面形状を演算する画像処理装置とにより構成されることを特徴とする表面形状計測装置。

IPC (3件)：

G01B 11/24 , G02B 21/00 , G12B 5/00

FI (3件)：

G01B 11/24 K , G02B 21/00 , G12B 5/00 T

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