特許
J-GLOBAL ID：200903064291267428
加速度計
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
草野 卓 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-237146
公開番号（公開出願番号）：特開平6-082469
出願日： 1992年09月04日
公開日（公表日）： 1994年03月22日
要約：
【要約】【目的】 小型、安価に構成可能とする。【構成】 支持体11に弾性ヒンジ12を介して板状基準質量体13が支持され、そのヒンジ12の軸心は基準質量体13の一端縁と一致され、基準質量体13の一板面に電極21が形成され、電極21に対向した電極22が支持体11に支持され、電極21,22で構成されるコンデンサ23が、MOSインバータよりなる発振回路24の圧電素子25と並列に接続される。発振回路24の発振周波数がカウンタ27で計数され、その計数値と、レジスタ28内の加速度が印加されないときの発振周波数との差が減算回路29でとられ、これが印加加速度として出力される。
請求項（抜粋）：
加速度に応答するように弾性ヒンジを介して支持体に支持されている基準質量体と、その基準質量体の加速度感知軸に垂直な表面に配置された第1電極と、その第1電極と平行でかつ対向して上記支持体に配置された第2電極と、上記第1,第2電極からなるコンデンサを発振周波数決定素子として含む発振回路と、その発振回路の発振周波数変化を検出して検出加速度として出力する演算部と、を具備する加速度計。
引用特許：
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