特許
J-GLOBAL ID:200903064316462301

弾性表面波フィルタとその製造方法

発明者:
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2003-040510
公開番号(公開出願番号):特開2004-253937
出願日: 2003年02月19日
公開日(公表日): 2004年09月09日
要約:
【課題】SAWフィルタ素子の表面近傍に中空部を必要とする弾性表面波フィルタに関し、容易に中空部を形成でき、且つ、小型化、低背化された弾性表面波フィルタとその製造方法を提供する。【解決手段】圧電基板の主面上にIDT及びボンディングパッド等で形成されるフィルタ機能部を配置し、該フィルタ機能部を取り囲むように樹脂を塗布して支持枠を形成し、該支持枠の開口部に蓋体を被せることでフィルタ機能部上に中空部を設けたSAWフィルタの製造方法において、該蓋体の外形形成を、前記支持枠に貼り合わせた後に成形する。【選択図】図1
請求項(抜粋):
圧電基板の主面上にフィルタ機能部を形成し、該フィルタ機能部を取り囲むように樹脂を塗布して支持枠を形成し、該支持枠の開口部に蓋体を被せることでフィルタ機能部上に中空部を設けたSAWフィルタの製造方法において、該蓋体の外形形状を前記支持枠に貼り合わせた後に成形することを特徴としたSAWフィルタの製造方法。
IPC (2件):
H03H9/25 ,  H03H3/08
FI (2件):
H03H9/25 A ,  H03H3/08
Fターム (12件):
5J097AA25 ,  5J097AA29 ,  5J097AA32 ,  5J097BB11 ,  5J097DD12 ,  5J097HA04 ,  5J097HA07 ,  5J097JJ03 ,  5J097JJ06 ,  5J097JJ09 ,  5J097KK09 ,  5J097KK10

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