特許
J-GLOBAL ID:200903064324296542

アルミナイド被膜の化学蒸着

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 生沼 徳二
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平5-119382
公開番号(公開出願番号):特開平6-033238
出願日: 1993年05月21日
公開日(公表日): 1994年02月08日
要約:
【要約】【目的】 航空機用ガスタービンエンジン等のNi/Co基合金部品に対し迅速/効率的/経済的にアルミナイド(NiAl;CoAl)被膜を形成する。【構成】 第1温度[T1 ] で作動する発生器[16]内で、AlCl(アルミニウムモノクロライド)ガスに富んだ塩化アルミニウム混合ガス[20](AlCl2 , AlCl3も含有)を発生させ、該混合ガス[20]を、第2温度[T2 ] で作動する反応器[26]内に供給し、製品[12]をアルミニウムで被覆する。第1温度[T1 ] は第2温度[T2 ] よりも、25°F〜150°Fだけ高い。混合ガス[20]は、(溶融)アルミニウム中に三塩化アルミニウムガス [AlCl3 ] を流し[Fig.1] 、或いは、アルミニウムペレットに塩化水素[HCl] ガスを流し[Fig.2] 、発生させる。以上により、好適な量のAlClが発生されてCVD速度が増大される。
請求項(抜粋):
コバルト(Co)およびニッケル(Ni)を含む金属群から選ばれた金属を基材とする合金で作製された製品をアルミニウムで被覆するための方法において、(a) 第1の温度T1 で動作している発生器内において一塩化アルミニウム(AlCl)に富む塩化アルミニウム混合ガスを連続的に発生させ、(b) 前記塩化アルミニウム混合ガスを反応器内に連続的に供給し、(c) 第2の温度T2 で連続的に動作している前記反応器内に配置された少なくとも1個の被覆すべき製品の表面に沿って前記発生器からの前記塩化アルミニウム混合ガスを流すことにより、前記製品の前記表面上において前記塩化アルミニウム混合ガスを反応させ、(d) 反応済みのガスを前記反応器から連続的に排出し、かつ(e) 前記第1の温度T1 を前記第2の温度T2 よりも実質的に高く維持しながら連続的に被覆作業を行う、諸工程から成ることを特徴とする方法。
IPC (2件):
C23C 16/12 ,  C23C 16/44
引用特許:
審査官引用 (2件)
  • 特公昭59-048952
  • 特開平1-159376

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