剥離検知装置及び方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鈴江武彦 (外5名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-117079
公開番号（公開出願番号）：特開平11-304768
出願日： 1998年04月27日
公開日（公表日）： 1999年11月05日
要約：

【要約】【課題】本発明は、被検面の平滑度や、凹凸に影響されることなく、剥離の有無を検知することができ、また、高温の被検面でも迅速かつ省力的にレーザービームを使用して剥離の有無を検知することができる剥離検知装置を提供することを目的とする。【解決手段】本発明に係る剥離検知装置は、(A)パルスレーザービーム5を被検面に照射するレーザー光源4と、(B)前記パルスレーザー4の照射により被検体8内に発生する超音波を受信する超音波検知用レーザー光源11及び干渉計12と、(C)前記干渉計12の出力に基づいて周波数スペクトラムを作成する周波数分析器10とを具えたことを特徴とする。

請求項（抜粋）：

(A)パルスレーザービームを被検面に照射するレーザー光源と、(B)前記パルスレーザーの照射により前記被検体内に発生する超音波を受信する超音波検知用レーザー光源及び干渉計と、(C)前記干渉計の出力に基づいて周波数スペクトラムを作成する周波数分析器とを具えたことを特徴とする剥離検知装置。

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