特許

J-GLOBAL ID：200903064331698230

積層型圧電素子の製造方法

発明者： 白露 幸祐 ,  橘高 敏彦
出願人/特許権者： 株式会社村田製作所
代理人 (1件)： 宮▼崎▲ 主税 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-017625
公開番号（公開出願番号）：特開平6-232473
出願日： 1993年02月04日
公開日（公表日）： 1994年08月19日
要約：

【要約】【目的】 グリーンシート焼成時における高度な厚み管理が必要でなく、かつ内部電極としてPt等の高価な金属を用いなくとも製造することができる積層型圧電素子の製造方法を得る。【構成】 複数のセラミックシートを焼成し、この重ね合わせ面上に内部電極を形成し、重ね合わせ面にうち重ね合わされる少なくとも一方の面上に接着層を形成し、この接着層を介して各セラミックシートを積層した後加熱してセラミックシート間を接着する。

請求項（抜粋）：

複数のセラミックシートを重ね合わせて積層型圧電素子を製造する方法であって;複数の焼成したセラミックシートを製造する工程と;前記各セラミックシートの重ね合わせ面上に内部電極を形成する工程と;前記内部電極を形成した重ね合わせ面のうち重ね合わされる少なくとも一方の面上に接着層を形成する工程と;前記接着層を形成した重ね合わせ面を重ね合わせて各セラミックシートを積層し、前記接着層を加熱することによって各セラミックシート間を接着する工程と;前記内部電極を分極処理用の電極として用いて分極処理する工程と備える、積層型圧電素子の製造方法。

IPC (2件)：

H01L 41/24 ,  H01L 41/09

FI (2件)：

H01L 41/22 Z ,  H01L 41/08 S

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開平2-288277
  
• 特開平3-045572
  
• 特開平4-111483