特許

J-GLOBAL ID：200903064343012172

基板保持部材および塗布装置

発明者： 村上 慎一郎 ,  竹本 潤 ,  中島 泰秀 ,  宮川 俊二
出願人/特許権者： 大日本印刷株式会社
代理人 (1件)： 小西 淳美
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-019575
公開番号（公開出願番号）：特開平10-202163
出願日： 1997年01月20日
公開日（公表日）： 1998年08月04日
要約：

【要約】【課題】 塗布液を塗布するための基板を確実に保持でき、かつ、効率よく短時間に基板を着脱することができる基板保持部材と、このような基板保持部材を備え、均一な膜厚の塗布膜を基板に形成可能な塗布装置を得る。【解決手段】 基板を着脱する基板給排部材が通過するための空間16を備え、前記空間を除いた領域に平坦な保持平面11を有し、保持対象となる基板の周縁形状に対応した所定のパターンの溝部15を前記保持平面11に備え、かつ、保持平面の溝部15で囲まれた領域の所定箇所に基板を吸引保持するための複数の吸引孔12を備えた基板保持部材1を、上向きに開口し帯状に延びるスリットを有する塗布ヘッドに対向して配置し、前記塗布ヘッドに塗布液を供給してスリットから塗布液を吐出し、前記基板保持部材1に吸着保持された基板に塗布液を塗布する。

請求項（抜粋）：

基部上に吸引によって基板を保持する基板保持部材において、基板を基板保持部材に着脱する基板給排部材が通過可能な空間を、前記基部の基板保持領域の一部に備えていることを特徴とする基板保持部材。

IPC (3件)：

B05C 13/00 ,  B05C 3/18 ,  B05C 5/02

FI (3件)：

B05C 13/00 ,  B05C 3/18 ,  B05C 5/02

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 基板保持装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-019055   出願人：株式会社ニコン