特許
J-GLOBAL ID：200903064347799215
半導体圧力センサ
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
藤本 博光
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-061533
公開番号（公開出願番号）：特開平5-223670
出願日： 1992年02月17日
公開日（公表日）： 1993年08月31日
要約：
【要約】【目的】 自動車のガソリンタンク内のガソリン蒸気圧やエンジン吸気圧力などの測定精度を高め、信頼性の高い半導体圧力センサを提供すること。【構成】 ゲージ抵抗を形成した半導体ダイヤフラム5の受圧面、ワイヤ7およびリードピン2に防食用の第1保護膜9をコートし、半導体ダイヤフラム5の第1保護膜に積層して緩衝用の第2保護膜6をコートした半導体圧力センサ。
請求項（抜粋）：
半導体ダイヤフラムの受圧面にケージ抵抗を形成した半導体圧力センサであって、半導体ダイヤフラムの受圧面、ワイヤおよびリードピンに防食用の第1保護膜がコートされ、半導体ダイヤフラムの第1保護膜に積層して緩衝用の第2保護膜がコートされていることを特徴とする半導体圧力センサ。
引用特許：
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