硬質被膜、硬質被膜被覆工具、および硬質被膜のコーティング方法

発明者： ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：池田治幸
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-299599
公開番号（公開出願番号）：特開2006-111915
出願日： 2004年10月14日
公開日（公表日）： 2006年04月27日
要約：

【課題】超硬合金の母材にコーティングされるWを含む硬質被膜の密着性および耐摩耗性を向上させる。【解決手段】超硬合金から成る工具母材12の表面には、TiWSi合金をターゲットとするアーク放電イオンプレーティング法により、そのTiWSi合金の炭化物(TiWSiC)、窒化物(TiWSiN)、或いは炭窒化物(TiWSiCN)から成る単一の組成の硬質被膜14が設けられているため、Ti、W、およびSiを別々のターゲットとして用いてコーティングする場合のようにTi化合物、W化合物、Si化合物が混在している場合に比較して、TiWSi合金とWCとの親和性により、WCを主成分とする超硬合金の工具母材12に対する密着性が一層向上する。また、Siを含んでいるため、硬さがHV0.025で3000以上となり、優れた耐摩耗性が得られるようになる。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

所定の母材の表面にコーティングされる硬質被膜であって、 TiWSi系合金の炭化物、窒化物、および炭窒化物の何れかにて構成されていることを特徴とする硬質被膜。

IPC (3件)：

C23C 14/06 , B23B 27/14 , C23C 14/24

FI (3件)：

C23C14/06 L , B23B27/14 A , C23C14/24 F

Fターム (8件)：

3C046FF03 , 3C046FF10 , 3C046FF21 , 4K029AA04 , 4K029BA54 , 4K029BC02 , 4K029BD05 , 4K029DD06

引用特許：

出願人引用 (1件)

特許第3249277号公報

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