特許

J-GLOBAL ID：200903064358675526

投影光学系のコマ収差を検出する方法

発明者： 篠永 浩彦 ,  塚本 泉 ,  諸星 洋
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 高梨 幸雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-177558
公開番号（公開出願番号）：特開平8-022951
出願日： 1994年07月06日
公開日（公表日）： 1996年01月23日
要約：

【要約】【目的】 投影光学系のコマ収差を簡単に検出することができる投影光学系のコマ収差を検出する方法を提供すること。【構成】 投影光学系のコマ収差を検出する方法において、前記投影光学系により投影したパターン像を前記投影光学系の光軸方向の1つ又は複数の位置で受像し、少なくとも1つのパターン像の前記光軸方向と直交する平面内の位置を検出することにより前記投影光学系のコマ収差を検出すること。

請求項（抜粋）：

投影光学系のコマ収差を検出する方法において、前記投影光学系により投影したパターン像を前記投影光学系の光軸方向の1つ又は複数の位置で受像し、少なくとも1つのパターン像の前記光軸方向と直交する平面内の位置を検出することにより前記投影光学系のコマ収差を検出することを特徴とする投影光学系のコマ収差を検出する方法。

IPC (3件)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/20 521 ,  G02B 27/18

FI (2件)：

H01L 21/30 516 B ,  H01L 21/30 502 G