特許

J-GLOBAL ID：200903064360160193

オートフォーカス装置

発明者： 前川 一浩 ,  山田 智明
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 渡部 温
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-111827
公開番号（公開出願番号）：特開平10-288734
出願日： 1997年04月15日
公開日（公表日）： 1998年10月27日
要約：

【要約】【課題】 対象物の交換時におけるフォーカス合せ時間を短くすることができるオートフォーカス装置を提供する。【解決手段】 本発明のAF装置は、フォーカス状態を検出する複数のセンサ機構(AF光学系AFS、スリット3等)と、対象物のウェハ7を光軸方向に動かすフォーカスアクチュエータ(Zテーブル8)を備える。複数のセンサ機構からのフォーカス信号の差の絶対値が所定値を越えた場合に、フォーカス信号判定部21がフォーカスアクチュエータ8の動作を停止させ、複数のセンサ機構からのフォーカス信号の差の絶対値が所定値以下となった場合に、フォーカスアクチュエータ8の動作を復活させる。

請求項（抜粋）：

対象物に光学系の焦点を合わせるためのオートフォーカス装置であって;フォーカス状態を検出する複数のセンサ機構と、対象物又は光学系を光軸方向に動かすことによりフォーカス位置を調整するフォーカスアクチュエータと、上記複数のセンサ機構からのフォーカス信号に基づいてフォーカス位置を演算する演算部、及び、上記複数のセンサ機構からのフォーカス信号が予め定められた特定の状態にあるか否かを判定する判定部、を含む制御部と、を具備することを特徴とするオートフォーカス装置。

IPC (4件)：

G02B 7/28 ,  G02B 21/26 ,  G03F 9/02 ,  H01L 21/027

FI (6件)：

G02B 7/11 J ,  G02B 21/26 ,  G03F 9/02 H ,  G02B 7/11 M ,  G02B 7/11 N ,  H01L 21/30 526 A