特許

J-GLOBAL ID：200903064367368725

圧電振動子とそれを用いた圧電振動ジャイロと圧電振動子の製造方法

発明者： 寺田 二郎
出願人/特許権者： 松下電器産業株式会社
代理人 (1件)： 岩橋 文雄 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-357258
公開番号（公開出願番号）：特開2002-162227
出願日： 2000年11月24日
公開日（公表日）： 2002年06月07日
要約：

【要約】【課題】 本発明は振動子外面の厚み方向に加圧加熱合成により、圧電体膜を形成させ、接着レス化を行うことを目的とする。【解決手段】 振動子3の駆動部1表面と検出部2表面に加圧加熱合成法によって直接圧電体膜を形成した。

請求項（抜粋）：

弾性金属からなる振動子の外面の厚み方向に、振動子と圧電体の組成が連続的に傾斜した圧電体膜を有することを特徴とする圧電振動子。

IPC (7件)：

G01C 19/56 ,  G01P 9/04 ,  H01L 41/09 ,  H01L 41/187 ,  H01L 41/22 ,  H03H 3/02 ,  H03H 9/17

FI (8件)：

G01C 19/56 ,  G01P 9/04 ,  H03H 3/02 B ,  H03H 9/17 B ,  H01L 41/08 C ,  H01L 41/08 U ,  H01L 41/18 101 D ,  H01L 41/22 Z

Fターム (15件)：

2F105AA08 ,  2F105AA10 ,  2F105BB02 ,  2F105BB13 ,  2F105BB15 ,  2F105CC01 ,  2F105CC04 ,  2F105CD02 ,  2F105CD06 ,  2F105CD13 ,  5J108AA09 ,  5J108BB05 ,  5J108CC04 ,  5J108CC06 ,  5J108KK01