特許
J-GLOBAL ID：200903064367400106

感光性樹脂組成物、その積層体、その硬化物及び該組成物を用いたパターン形成方法

発明者：
小野 禎之

小野 禎之 について

, 
森 哲

森 哲 について


出願人/特許権者：
日本化薬株式会社

日本化薬株式会社 について

, 
マイクロケム コーポレイション

マイクロケム コーポレイション について


代理人 (4件)： 浅村 皓 ,  浅村 肇 ,  亀岡 幹生 ,  安藤 克則
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-199938
公開番号（公開出願番号）：特開2008-026660
出願日： 2006年07月21日
公開日（公表日）： 2008年02月07日
要約：
【課題】高解像性、高アスペクト比のパターンを形成でき、かつ高感度な感光性樹脂組成物を得ることを課題とする。【解決手段】多官能エポキシ樹脂(A)とフェノール系硬化剤(B)と下記式(1)で表される特定構造の光カチオン重合開始剤(C)とを含有してなる感光性樹脂組成物を提供する。【選択図】なし
請求項（抜粋）：
エポキシ当量が150〜400g/eqであり常温25°C以上の軟化点を有する固形の多官能エポキシ樹脂(A)、水酸基当量が90〜300g/eqであるフェノール系硬化剤(B)、及びスルホニウムトリス(ペンタフルオロエチル)トリフルオロホスフェートである光カチオン重合開始剤(C)を含有してなる感光性樹脂組成物であって、前記(A)成分と前記(B)成分と前記(C)成分の合計に対して、前記(A)成分の配合割合が50〜90重量%であり、前記(B)成分の配合割合が1〜35重量%であり、そして前記(C)成分の配合割合が1〜15重量%である、感光性樹脂組成物。
IPC (4件)：
G03F 7/004 ,  G03F 7/029 ,  H01L 21/027 ,  C08G 59/68
FI (5件)：
G03F7/004 501 ,  G03F7/029 ,  G03F7/004 512 ,  H01L21/30 502R ,  C08G59/68
Fターム (27件)：
2H025AA02 ,  2H025AA03 ,  2H025AB11 ,  2H025AB15 ,  2H025AB16 ,  2H025AB17 ,  2H025AC01 ,  2H025AD01 ,  2H025BD03 ,  2H025BD23 ,  2H025BE07 ,  2H025CA48 ,  2H025CC17 ,  2H025CC20 ,  2H025FA12 ,  2H025FA29 ,  4J036AB10 ,  4J036AD08 ,  4J036AF08 ,  4J036AF19 ,  4J036FA13 ,  4J036FB07 ,  4J036FB08 ,  4J036GA03 ,  4J036GA22 ,  4J036GA28 ,  4J036JA09
引用特許：
出願人引用 (12件)
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審査官引用 (2件)

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